(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴56792-69-9
- 英文名称:(3,3-DIMETHYL-1-BUTYNE)DICOBALT HEXACARBONYL
- 价格: ¥12/千克
- 发布日期: 2025-01-07
- 更新日期: 2025-07-02
产品详请
EINECS编号 |
noll
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品牌 |
信康
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货号 |
siodj
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用途 |
特别是对于钴阻挡层/衬层、共覆盖层和共晶种层的应用,具有优异的性能。在阻挡层和种子层的情况下,钴膜显示出后续种子形成和电镀步骤的高导电性。
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执行标准 |
企业标准
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英文名称 |
(3,3-DIMETHYL-1-BUTYNE)DICOBALT HEXACARBONYL
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包装规格 |
1kg/25kg/200kg
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CAS编号 |
56792-69-9
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别名 |
(3,3-二甲基-1-丁炔)羰基二钴六羰基;(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴;(3,3-二甲基-1-丁烯)二钴六羰基;(3,3-二甲基-1-丁炔)二钴六羰基
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纯度 |
99%
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分子式 |
C12H10Co2O6
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有效物质含量 |
99%
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(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴性质沸点52°C/0.8
形态液体颜色深红敏感性airsensitive
CAS数据库56792-69-9(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴
用途与合成方法概述(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴(CCTBA)是几种用于制造设备重要功能层的含钴CVD/ALD前体之一。
应用(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴是制备钴金属、氮化钴、钴硅化物等的重要前驱体,特别是对于钴阻挡层/衬层、共覆盖层和共晶种层的应用,具有优异的性能。在阻挡层和种子层的情况下,钴膜显示出后续种子形成和电镀步骤的高导电性。