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(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴56792-69-9
  • 英文名称:(3,3-DIMETHYL-1-BUTYNE)DICOBALT HEXACARBONYL
  • 品牌:信康
  • 型号:1kg/25kg/200kg
  • 货号:siodj
  • cas:56792-69-9
  • 价格: ¥12/千克
  • 发布日期: 2025-01-07
  • 更新日期: 2025-07-02
产品详请
EINECS编号 noll
品牌 信康
货号 siodj
用途 特别是对于钴阻挡层/衬层、共覆盖层和共晶种层的应用,具有优异的性能。在阻挡层和种子层的情况下,钴膜显示出后续种子形成和电镀步骤的高导电性。
执行标准 企业标准
英文名称 (3,3-DIMETHYL-1-BUTYNE)DICOBALT HEXACARBONYL
包装规格 1kg/25kg/200kg
CAS编号 56792-69-9
别名 (3,3-二甲基-1-丁炔)羰基二钴六羰基;(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴;(3,3-二甲基-1-丁烯)二钴六羰基;(3,3-二甲基-1-丁炔)二钴六羰基
纯度 99%
分子式 C12H10Co2O6
有效物质含量 99%
(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴性质沸点52°C/0.8

形态液体颜色深红敏感性airsensitive
CAS数据库56792-69-9(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴
用途与合成方法概述(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴(CCTBA)是几种用于制造设备重要功能层的含钴CVD/ALD前体之一。
应用(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴是制备钴金属、氮化钴、钴硅化物等的重要前驱体,特别是对于钴阻挡层/衬层、共覆盖层和共晶种层的应用,具有优异的性能。在阻挡层和种子层的情况下,钴膜显示出后续种子形成和电镀步骤的高导电性。

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